半导体制造中给OHT系统是什么？

OHT天车系统是300mm晶圆厂物流主干，通过高架轨道搬运FOUP，日运量数十万次。其精度、振动与洁净度直接影响先进制程良率，国内厂商正加速追赶日系巨头，有望成为设备国产化的重要突破口。 在半导体制造领域，OHT（Overhead Hoist Transfer）即天车搬运系统，是一种安装于厂房天花板高架轨道上的自动... （来源：技术文章频道）

半导体OHT 2026-7-6 14:15