聚众正式发布光刻机微振监测传感器

近日，聚众正式发布一款针对光刻机的微振监测传感器JAYDV10。 光刻机（尤其EUV）对0.1–20Hz低频微振极度敏感，纳米级别的位移就会导致光刻工艺故障。传统工业传感器低频差、噪声高、漂移大，无法满足光刻机纳米级监测需求。 聚众新研制并发布的高精微振监测传感器JAYDV10可实现超低频极致响... （来源：新品频道）

聚众微振监测传感器JAYDV10 2026-5-26 09:09