作者：Shuai Ren，软件系统应用工程师 Tomasz Potaczała，AMC TECH技术总监 摘要 本文深入探讨了一款先进的智能振动传感器，重点介绍它基于微机电系统(MEMS)技术的设计、功能和应用。这款传感器的核心目标是在各种工业和研究环境中提供高精度、高可靠性和实时监测能力，展现AD... （来源：技术文章频道）
智能振动传感器微机电MEMS 2025-9-25 14:34
图源：Open Studio/stock.adobe.com 微机电系统（MEMS）是一种紧凑型设备，在单个硅芯片上组合各种功能，如机械、光学、流体和电子，是医疗、运输和电信领域发展的主要支持技术。MEMS加速度计、MEMS陀螺仪、MEMS压力传感器、MEMS开关、MEMS振动能量采集器、MEMS生物传感器、MEMS振荡器，这些都是大家耳... （来源：技术文章频道）
微机电系统（MEMS）MEMS压力传感器 车辆安全系统 2022-9-13 11:24
什么是射频微机电系统开关？射频微机电系统 (RF MEMS) 开关是低功耗小型微机械开关，可以使用传统的MEMS制造技术生产。它们类似于房间中的电灯开关，通过触点打开或关闭在开关中传输信号。在RF MEMS器件中，开关的机械组件大小只在微米级别。与电灯开关不同的是，RF MEMS开关传输的是射频信号。射频开关... （来源：技术文章频道）
射频微机电系统开关 射频信号 RF MEMS器件 2022-5-16 13:24
用微机电系统和两个压力传感器补偿集成电路（IC）演示了用于生化和医学目的的微流体流量测量。流体的流速可以通过精密加工通道上的压降来确定。整个组件可安装在小型陶瓷混合组件上。在广泛的当前应用中，流体分析必不可少。生物学，医学分析，基因工程和许多其他领域都依赖于快速，精确且可重复的化学... （来源：技术文章频道）
微机电系统 压力传感器 2021-11-9 10:14
MEMS（Micro Electro mechanical System）即微机电系统，是指采用微机电加工技术按照功能要求在微米量级的芯片上集成机械零件、电子组件和传感器执行组件等而形成的一个独立智能系统。由于单晶石英材料具有压电效应，且具有优良的温度、机械性能、高品质因素等特性，采用单晶石英制作的石英 MEMS 加速度... （来源：技术文章频道）
MEMS传感器微机电加工技术芯片 2020-6-18 16:16
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