不用EUV光刻机也能造5nm芯片？铠侠携手NDP与佳能力推NIL技术

在半导体制程技术进入5nm节点之后，EUV光刻机已经成为了不可或缺的关键设备。但是，因为EUV光刻机造价高昂，每台价格超过1亿美元，而且EUV光刻机仅荷兰ASML一家产生能够供应，且产能有限，这使得芯片的生产成本大幅升高。为解决这样的问题，日本存储大厂铠侠（Kioxia） 现在联合了合作伙伴开发了一种新... （来源：新闻频道）

铠侠NDP佳能力NIL 2021-10-25 09:43