胜科纳米助力TEM畸变测量标准T/CSTM 01594—2026正式落地
近日，中国材料与试验标准化委员会（CSTM）批准，中关村材料试验技术联盟正式对外发布11项CSTM团体标准。其中，由胜科纳米（苏州）股份有限公司和赛默飞世尔科技（中国）有限公司联合发起，中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、苏州市计量测试院、中南大学、河南科技大学、上海大学共同编制的T/CSTM 01594—2026《透射电子显微镜成像椭圆形畸变测量——圆度法》中英文版本同步发布，标准将于2026年10月15日正式实施。
该标准项目最早于2024年第二届半导体第三方分析检测生态圈战略大会现场研讨，同年11月14日完成正式立项；历经跨单位联合试验验证、多轮行业专家研讨打磨后正式定稿发布，是国内首个专门针对透射电子显微镜（TEM）成像椭圆形畸变定量测量的团体标准，填补国内TEM高分辨成像畸变精准量化方法空白，为集成电路、纳米材料领域高端电镜校准提供统一、可溯源的可靠技术依据。
TEM是先进制程芯片、纳米新材料研发、失效分析的核心表征设备，随着芯片工艺进入 3 nm、2 nm 等超小节点，其测量结果的准确性和可靠性已成为行业关注的重点，高倍率下图像畸变会直接造成晶面间距、器件尺寸、角度测量偏差，微小畸变都可能引发工艺误判、器件失效风险。
行业原有老旧检定规程中，图像畸变测量手段传统、量化逻辑模糊，测量稳定性与精准度不足，不同实验室、不同设备之间测量结果难以横向对比，行业长期缺少标准化、可复现的畸变定量检测方案。
椭圆形畸变是TEM成像畸变最主要的类型。简单来说，由于透镜系统存在非对称性（如像散等），图像中的圆形物体会变形为椭圆形——在一个方向上被压缩，另一个方向上被拉伸。这种畸变会导致晶面间距、尺寸、形状、角度等关键测量结果产生偏差，直接影响高分辨测量的准确性。
以圆形目标为例，在使用透射电镜成像时若存在椭圆形畸变，最终放大的图像会由圆形变为椭圆形如下图所示。
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