近日，苏州极紫外半导体有限公司正式发布自研三束等离子体耦合 DPP 极紫外（13.5nm EUV）光源工程样机。该技术由哈工大资深 EUV 光源专家深耕 二十余年攻关落地，独创三束耦合发光架构，既绕开海外 LPP 光源海量专利壁垒，又彻底解决传统单束 DPP 功率低、碎屑污染、稳定性差等工业化短板，为国内高端光... （来源：技术文章频道）
极紫外半导体 DPP-EUV 光源样机EUV 光源 2026-7-16 16:03
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